零件表面的殘留顆粒物污染物會對零件的使用壽命造成影響，因此在精密制造領域需要對零件表面的清潔度進行分析檢測，從而確保產品的可靠性。以下是常見顆粒物分析方法的比較。
顆粒物分析方法
(1)篩分法。
優點：簡單、直觀、設備造價低，常用于大于40um的樣品。
缺點：結果受人為因素和篩孔變形影響較大。
(2)顆粒物圖像分析法。
優點：簡單、直觀，可進行形貌分析，適合分布窄(*大和*小粒徑的比值小于10：1)的樣品。
缺點：代表性差，分析分布范圍寬的樣品比較麻煩，無法分析小于1um的樣品。
奧林巴斯CIX100清潔度檢測系統
奧林巴斯CIX100清潔度檢測系統可用于ISO 16232以及VDA-19標準。
(3)沉降法(包括重力沉降和李新沉降)。
優點：操作漸變，儀器可以連續運行，價格低，準確性和重復性較好，測試范圍較廣。
缺點：測試時間較長，操作比較繁瑣。
(4)電阻法。
優點：操作漸變可測顆粒數，等效概念明確，速度快，準確性好。
缺點：不適合測量小于0.1um的顆粒樣品，對粒度分布寬的樣品更換小孔管比較麻煩。
(5)激光法。優點：操作簡便，測試速度快，測試范圍廣，重復性和準確性好，可進行在線測量和干法測量。缺點：結果受分布模型影響較大，儀器造價較高，分辨力低。
(6)電子顯微鏡法。
優點：適合測試超新顆粒甚至納米顆粒，分辨力高，可進行形貌和結構分析。
缺點：樣品少，代表性差，測量易受人為因素影響，儀器價格昂貴。
(7)光阻法。
優點：測試便捷快速，可測液體或氣體中顆粒數，分辨力高。
缺點：不適用粒徑小于1um的樣品，進行系統比較講究，僅適合對塵埃、污染物或已稀釋好的**進行測量，對一般粉體用的不多。
(8)透氣法。
優點：儀器價格低。不用對樣品進行分散，可測測性材料粉體。
缺點：只能得到平均粒度值，不能測粒度分布;不能測小于5um細粉。