Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復(fù)性。
與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點，因此用戶可測量各種故障分析應(yīng)用中許多信號響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。
在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為**的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。
Park Hivac 管理器
Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制*佳真空條件抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
上等自動化特點
配備電控載物臺的StepScan自動化掃描
電動激光對準(zhǔn)
提高精度和生產(chǎn)率
NX-Hivac即是全球*精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的*簡單方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結(jié)果。
閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
利用兩個獨立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內(nèi)的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測量。
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)優(yōu)越的低噪聲Z軸探測器功能，可準(zhǔn)確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。
NX-Hivac的一大特點是NX系列電子控制器可實現(xiàn)時間浪費*小化、精度*大化。我們的控制器
為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式。
控制器具有低噪聲設(shè)計和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級成像的較佳之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時具有數(shù)字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。
Park NX-Hivac參數(shù)
XY掃描儀：50μm × 50μm（100μm x 100μm可選）
Z掃描儀：15μm
視野：840um x 630um (帶10x物鏡）
CCD：500萬像素
XY位移臺行程范圍：22mm x 22mm
Z位移臺行程范圍：24mm
聚焦樣品臺行程范圍：11mm
真空等級：通常小于1x10-5 torr
托泵速：使用渦輪和干式泵在約5分鐘內(nèi)達(dá)到10-5 torr
ADC：18通道
X，Y和Z掃描器位置傳感器的24位ADC
DAC：17通道
用于X，Y和Z掃描器定位的20 位ADC
SmartScan：Park AFM操作軟件
XEI：AFM數(shù)據(jù)分析軟件
Hivac Manager：自動真空控制軟件
溫控臺
傾斜樣品載臺
卡入式樣品載臺